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一种晶体硅太阳能电池制掩膜的设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210454164.2
  • IPC分类号:H01L31/18
  • 申请日期:
    2012-11-14
  • 申请人:
    东方电气集团(宜兴)迈吉太阳能科技有限公司
著录项信息
专利名称一种晶体硅太阳能电池制掩膜的设备
申请号CN201210454164.2申请日期2012-11-14
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2013-02-13公开/公告号CN102931279A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人东方电气集团(宜兴)迈吉太阳能科技有限公司申请人地址
江苏省无锡市宜兴市经济开发区文庄路20号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东方环晟光伏(江苏)有限公司,环晟光伏(江苏)有限公司当前权利人东方环晟光伏(江苏)有限公司,环晟光伏(江苏)有限公司
发明人史孟杰;黄仑;吴俊清;王金伟;全余生
代理机构南京天华专利代理有限责任公司代理人夏平
摘要
本发明公开一种晶体硅太阳能电池制掩膜的设备,包括反应腔室、磷源输出装置、恒温加热装置,其特征在于还包括去离子水装置,所述的去离子水装置设置在恒温加热装置上方。本发明的有益效果:本发明通过在恒温加热装置上方设置去离子水装置,该去离子水装置内部的温度由温度控制器进行控制,使用该设备可以在潮湿的环境下对硅片进行磷扩撒及表面氧化,使表面形成的二氧化硅掩膜层结构更加致密,膜层更均匀,能够有效阻挡磷源的二次扩散,反应完成后的废气由排气管道排出。

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