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一种ITO粗化的蒸镀方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201310414877.0
  • IPC分类号:C23C14/30C23C14/08C23C14/02
  • 申请日期:
    2013-09-12
  • 申请人:
    昆山奥德鲁自动化技术有限公司
著录项信息
专利名称一种ITO粗化的蒸镀方法
申请号CN201310414877.0申请日期2013-09-12
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2013-12-18公开/公告号CN103451605A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/30IPC分类号C23C14/30;C23C14/08;C23C14/02查看分类表>
申请人昆山奥德鲁自动化技术有限公司申请人地址
江苏省苏州市昆山市城北西路26*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人昆山奥德鲁自动化技术有限公司当前权利人昆山奥德鲁自动化技术有限公司
发明人郁彬
代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙)代理人柏尚春
摘要
本发明公开了一种用分步ITO蒸镀代替传统ITO蒸镀进行ITO粗化的方法;将浓硫酸和双氧水按照2:1的比例进行混合,同时降温至100度,将外延片放置其中进行充分清洗5min后,取出用清水冲洗干净。将清洗后外延片固定于镀锅内,采用ITO分步蒸镀的方式,改变每层ITO蒸镀时的速率和氧流量,从而使外延片最外层ITO达到粗化的效果;本工艺具有操作简单可行,按照上述流程蒸镀后的ITO表面粗化效果佳,出光效率后,极大得提高了LED芯片的外量子效率。

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