一种条纹宽度可控的激光加热制备单层石墨烯的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110133130.9
IPC分类号：C01B31/04
申请日期：
2011-05-23
申请人：
长春理工大学

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著录项信息

专利名称	一种条纹宽度可控的激光加热制备单层石墨烯的方法
申请号	CN201110133130.9	申请日期	2011-05-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-11-23	公开/公告号	CN102249221A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B31/04 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B31/04 （转入C01B 32/182-C01B 32/23）	IPC分类号	C;0;1;B;3;1;/;0;4查看分类表>
申请人	长春理工大学	申请人地址	吉林省长春市朝阳区卫星路7089号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长春理工大学	当前权利人	长春理工大学
发明人	魏志鹏;高娴;唐吉龙;房丹;方铉;陈芳;牛守柱;方芳;楚学影;李金华;王菲;王晓华
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明涉及一种在衬底上利用激光光束通过光栅加热方法制备条纹宽度可控的单层石墨烯(Graphene)的方法，属于半导体新型材料技术领域。石墨烯具有较高的电子传输特性、响应频率好和较宽光波段透明度的性质，能够实现高速电子器件制备的优化。因此实现生长优质的条纹状石墨烯材料对于电子技术的发展具有重要意义。本发明利用激光通过光栅加热衬底的方法制备条纹状的单层石墨烯，省略了光刻步骤，一步完成，简单易行，没有附加物质对生长材料的污染；同时，可以快速去除光束，具有降温快等特点，可以减少不必要的多层石墨稀生长，有效的实现石墨烯单层生长，其特征在于用光栅得到分立的光束，进而得到分立的条纹状的单层石墨烯。

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