一种SOI传感芯片及谐振式MOMES矢量水听器

发明专利有效专利

申请号：
CN202010635434.4
IPC分类号：G01H9/00
申请日期：
2020-07-01
申请人：
中国人民解放军国防科技大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种SOI传感芯片及谐振式MOMES矢量水听器
申请号	CN202010635434.4	申请日期	2020-07-01
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-10-02	公开/公告号	CN111735530A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01H9/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01H 机械振动或超声波、声波或次声波的测量〔4〕 G01H9/00 应用对辐射敏感的装置，例如光学装置，测量机械振动或超声波、声波或次声波	IPC分类号	G;0;1;H;9;/;0;0查看分类表>
申请人	中国人民解放军国防科技大学	申请人地址	湖南省长沙市开福区德雅路109号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国人民解放军国防科技大学	当前权利人	中国人民解放军国防科技大学
发明人	邹永超;徐攀;王俊;楼康;彭承彦;朱家华;徐志明
代理机构	湖南企企卫知识产权代理有限公司	代理人	任合明

摘要

本发明涉及水声传感领域，具体涉及一种SOI传感芯片及基于该传感芯片的谐振式MOMES矢量水听器，包括可调激光器、光衰减器、光隔离器、3dB分束器、第一偏振控制器、第二偏振控制器、SOI传感芯片、第一光电探测器、第二光电探测器，所有器件之间均通过连接光纤连接；有益技术效果：通过谐振式悬臂梁实现水声传感，可在设计的工作谱段内实现极高灵敏度；采用传感悬臂梁与参考悬臂梁设计，通过采集两者信号差值有效抑制系统与环境共模噪声，可大大提高系统检测精度与分辨率；用于水声信号传感的悬臂梁结构与用于信号读取的脊形波导结构设计在同一平面内，芯片结构紧凑，与标准SOI工艺兼容，便于低成本大批量生产，且可保证系统性能稳定性与重复性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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