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硅烷的再循环和再利用

发明专利无效专利

申请号：
CN200880024496.9
IPC分类号：C01B33/00;C23C16/22
申请日期：
2008-06-05
申请人：
琳德有限公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	硅烷的再循环和再利用
申请号	CN200880024496.9	申请日期	2008-06-05
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2010-08-18	公开/公告号	CN101808937A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B33/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B33/00 硅；其化合物（C01B 21/00，C01B 23/00优先；过硅酸盐入 C01B 15/14；碳化物入C01B32/956）〔1，3，2006.01〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;3;/;0;0;;;C;2;3;C;1;6;/;2;2查看分类表>
申请人	琳德有限公司	申请人地址	美国新泽西州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	琳德有限公司	当前权利人	琳德有限公司
发明人	N·萨克希纳;N·玛木伦;B·库德贝克
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	项丹;周承泽

摘要

本发明描述了对通过等离子体增强化学气相沉积法制备薄膜太阳能电池中使用的硅烷和硅烷/氢气混合物进行回收和再循环的方法和设备。通过收集来自沉积室的未反应的硅烷或硅烷/氢气混合物，将收集的气体再循环到沉积室，使得硅烷的利用率可以提高2-5倍。

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