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一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110685863.7
  • IPC分类号:C23C14/24;C23C14/54
  • 申请日期:
    2021-06-21
  • 申请人:
    北京理工大学
著录项信息
专利名称一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法
申请号CN202110685863.7申请日期2021-06-21
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-09-17公开/公告号CN113403587A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/24IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4查看分类表>
申请人北京理工大学申请人地址
北京市海淀区中关村南大街5号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京理工大学当前权利人北京理工大学
发明人许自强;王业亮;杨涵;贾亮广;武旭;侯延辉;刘立巍
代理机构北京理工大学专利中心代理人袁瑞霞
摘要
本发明提出了一种可移动温控沙浴束源炉及其安装和镀膜方法,通过填充沙能够使得热量传递更快,温度控制更精确迅速,并且结构设计为可移动,利于在不同真空腔的使用兼容性及普遍性。本申请的可移动温控沙浴束源炉通过填充沙实现采用沙浴加热方式加热,使热量传递方式从单一的热辐射传递变为热传导和热辐射两种热传递方式,使热量传递更快,温度控制更精确迅速;同时,本申请的可移动温控沙浴束源炉结构简单,可移动的特点利于调节束源炉在真空蒸镀腔里的位置以及相对于样品的位置,也利于束源炉对不同构造的真空蒸镀腔的广泛兼容性。

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