一种新型无腔室的石墨烯高温压力传感器

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201620746232.6
IPC分类号：G01L1/18;G01L9/06
申请日期：
2016-07-14
申请人：
中北大学

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著录项信息

专利名称	一种新型无腔室的石墨烯高温压力传感器
申请号	CN201620746232.6	申请日期	2016-07-14
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01L1/18 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01L 测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力（称量入G01G）〔4〕 G01L1/00 力或应力的一般计量（测量由于冲击产生的力入G01L 5/00）〔4〕 G01L1/18 利用压电电阻材料的性质，即材料的欧姆电阻随作用于材料上的力的大小或方向的改变而变化的性质	IPC分类号	G;0;1;L;1;/;1;8;;;G;0;1;L;9;/;0;6查看分类表>
申请人	中北大学	申请人地址	山西省太原市学院路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中北大学	当前权利人	中北大学
发明人	李孟委;吴承根
代理机构	北京金智普华知识产权代理有限公司	代理人	皋吉甫

摘要

本实用新型涉及高温压力测试技术领域，具体涉及一种新型无腔室的石墨烯耐高温压力传感器。所述高温压力传感器为无腔室结构；所述高温压力传感器包括用于感受外部压力的氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结，所述氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结的外部不设置腔室结构；所述氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结为三层结构，从上到下依次为顶层氮化硼、石墨烯层和底层氮化硼。本实用新型所述高温压力传感器利用氮化硼/石墨烯/氮化硼异质结作为敏感元件感受外部压力信号，器件灵敏度不依赖于压力腔，所以不会产生额外的噪声压力引起的温度漂移，噪声压力减小300%，可大幅提高器件在高温环境下的灵敏度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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