大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201310744567.5
IPC分类号：G01N33/00
申请日期：
2013-12-30
申请人：
哈尔滨工业大学

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专利名称	大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置
申请号	CN201310744567.5	申请日期	2013-12-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-04-09	公开/公告号	CN103713102A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N33/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N33/00 利用不包括在G01N 1/00至G01N 31/00组中的特殊方法来研究或分析材料	IPC分类号	G;0;1;N;3;3;/;0;0查看分类表>
申请人	哈尔滨工业大学	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	哈尔滨工业大学	当前权利人	哈尔滨工业大学
发明人	陈明君;廖然;肖勇;蒋琳曦;张文明;左泽轩;许乔;梁迎春
代理机构	哈尔滨市松花江专利商标事务所	代理人	高媛

摘要

大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置，涉及大口径光学元件表面微缺陷修复用联动装置。该装置在大型高精度隔振平台上可实现二维联动，用以辅助晶体表面微缺陷的快速探测、精确定位、循环扫描等后续修复工作。X轴直线单元固定在精密平台上，X轴导轨连接板固定在X轴直线单元运动部件上；步进电机驱动X轴直线单元运动部件运动，Y轴导轨连接板固定在Y轴直线单元运动部件上；Y轴直线单元固定在Y轴导轨托盘中，Y轴导轨托盘与X轴导轨连接板定位连接，Y轴导轨托盘另一端为气浮端，气浮框架通过柔性铰链与Y轴导轨连接板连接。本发明用以辅助实现大口径光学元件晶体表面微缺陷修复时的微缺陷快速探测、精确定位与循环扫描等功能。

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