划线方法和用于划线的喷砂机

发明专利有效专利

申请号：
CN201310382121.2
IPC分类号：B24C1/00;B24C5/04;B24C7/00;B24C11/00;H01L31/18
申请日期：
2013-08-28
申请人：
株式会社不二制作所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	划线方法和用于划线的喷砂机
申请号	CN201310382121.2	申请日期	2013-08-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-03-26	公开/公告号	CN103659612A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24C1/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24C 磨料或微粒材料的喷射 B24C1/00 为产生特殊效果的喷射磨料的方法；与这些方法有关的所使用的辅助装置	IPC分类号	B;2;4;C;1;/;0;0;;;B;2;4;C;5;/;0;4;;;B;2;4;C;7;/;0;0;;;B;2;4;C;1;1;/;0;0;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	株式会社不二制作所	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社不二制作所	当前权利人	株式会社不二制作所
发明人	间濑惠二;日当正人
代理机构	广州三环专利代理有限公司	代理人	温旭;郝传鑫

摘要

为了提供一种允许在无需遮掩的情形下以高精度形成沟槽的通过喷砂划线的方法，使用一种喷砂机和磨料，所述喷砂机包括具有宽度为10μm到500μm且长度为该宽度5倍到5000倍的狭缝状喷射开口的喷嘴，所述磨料的中值直径等于或小于所述喷嘴的喷射开口的宽度的二分之一且其最大粒子直径比所述喷射开口的宽度小；以及，在没有遮掩的条件下以0.1mm到3.0mm的喷射距离将所述磨料连同压缩气体向工件的表面喷射以便所述磨料的喷射数量在喷射压强为0.2MPa到0.6MPa的范围内相对于1000cm3排放气体数量等于或小于0.25cm3。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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