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一种环抛机抛光盘螺旋型冷却结构

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201410284975.1
  • IPC分类号:B24B37/34;B24B55/02
  • 申请日期:
    2014-06-24
  • 申请人:
    北京微纳精密机械有限公司;西安交通大学
著录项信息
专利名称一种环抛机抛光盘螺旋型冷却结构
申请号CN201410284975.1申请日期2014-06-24
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2014-10-08公开/公告号CN104084877A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B24B37/34IPC分类号B;2;4;B;3;7;/;3;4;;;B;2;4;B;5;5;/;0;2查看分类表>
申请人北京微纳精密机械有限公司;西安交通大学申请人地址
北京市朝阳区望京新兴产业区利泽中园二区208号1号楼1418室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京微纳精密机械有限公司,西安交通大学当前权利人北京微纳精密机械有限公司,西安交通大学
发明人赵惠英;张楚鹏;范智源;杨和清;于贺春;李彬;席建普;任东旭;袁林;周国强
代理机构北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)代理人汤东凤
摘要
本发明公开了一种环抛机抛光盘螺旋型冷却结构。它包括抛光盘,冷却水循环系统,抛光盘、研磨盘和转台连接在一起,抛光盘上端面加工有螺旋形冷却水管槽,安装有冷却水循环系统,研磨盘下端面与抛光盘上端面粘接在一起,冷却水循环系统可通过冷却水实现抛光过程中研磨盘的恒温控制,让研磨盘保持较好的面形,抛光盘与转台之间通过螺纹固定,转台带动抛光盘旋转,螺旋冷却水管路中的冷却水在离心力的作用下能实现快速循环。本发明能够很好地控制研磨盘和抛光盘温度恒定。

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