厚度测量装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201710623484.9
IPC分类号：G01B11/06
申请日期：
2017-07-27
申请人：
株式会社迪思科

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法律信息

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著录项信息

专利名称	厚度测量装置
申请号	CN201710623484.9	申请日期	2017-07-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-02-09	公开/公告号	CN107677211A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先） G01B11/06 用于计量厚度	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;6查看分类表>
申请人	株式会社迪思科	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社迪思科	当前权利人	株式会社迪思科
发明人	能丸圭司
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	暂无

摘要

提供厚度测量装置，其包含宽带光源；分光器；分配构件，其对各波长的光变更分配方向；聚光透镜；光传递构件；测量端子，其使构成光传递构件的多个光纤的另一方的端面与板状物对置，该测量端子具有多个物镜，多个物镜成列并与各端面对应地配设在各端面与板状物之间；光分支构件，其配设在光传递构件的光的传递路径上，从各光纤分支出由在板状物的上表面反射的光和透过板状物而在下表面反射的光相干涉并在各光纤中逆行而得的返回光；分光干涉波形生成构件，其与各光纤对应地生成分光干涉波形；和厚度计算构件，其对分光干涉波形生成构件所生成的与各光纤对应的分光干涉波形进行波形解析而对与各光纤对应的板状物的厚度进行计算。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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