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一种可变刚度接触式微纳米坐标测量机测头

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201711038585.6
  • IPC分类号:G01B7/016
  • 申请日期:
    2017-10-30
  • 申请人:
    安徽理工大学
著录项信息
专利名称一种可变刚度接触式微纳米坐标测量机测头
申请号CN201711038585.6申请日期2017-10-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2018-03-23公开/公告号CN107830793A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B7/016IPC分类号G;0;1;B;7;/;0;1;6查看分类表>
申请人安徽理工大学申请人地址
安徽省淮南市泰丰大街168号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人安徽理工大学当前权利人安徽理工大学
发明人李保坤;吴耀东;刘向阳
代理机构合肥维可专利代理事务所(普通合伙)代理人吴明华
摘要
本发明涉及一种可变刚度接触式微纳米坐标测量机测头,其特征在于,包括弹性敏感梁,中心连接体,“鹤”形框架,“工”字形柔顺机构,电容上极板,电容下极板,工作平台,所述弹性敏感梁的内端固定于“鹤”形框架的首部,弹性敏感梁的外端固定于“工”字形柔顺机构的中点内端,所述中心连接体的末端固定于弹性敏感梁的中点,所述“工”字形柔顺机构的两侧固定于“鹤”形框架,所述电容上极板固定于中心连接体的末端下表面,所述电容下极板固定于工作平台的上端。本发明通过设置有测头悬挂结构,有助于实现测头系统的刚度调节和空间排布结构的紧凑,通过设置有压电驱动器和弹性敏感梁,有助于减小测量过程中的测量力,通过设置有绕工作台轴线圆周均匀排布的弹性敏感梁和“鹤”形框架,有助于降低对弹性敏感梁的安装对称度和所受压力必须一致的条件,且结构简单,操作方便,经济实用。

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