图形数据的制作方法、图形验证方法及其应用

发明专利无效专利

申请号：
CN200510073472.0
IPC分类号：G03F1/08;G03F7/00;H01L21/027
申请日期：
2005-05-30
申请人：
株式会社东芝

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	图形数据的制作方法、图形验证方法及其应用
申请号	CN200510073472.0	申请日期	2005-05-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2005-11-30	公开/公告号	CN1702549
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F1/08 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F1/08 （转入G03F 1/00-G03F 1/86）	IPC分类号	G;0;3;F;1;/;0;8;;;G;0;3;F;7;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2;7查看分类表>
申请人	株式会社东芝	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东芝存储器株式会社	当前权利人	东芝存储器株式会社
发明人	野岛茂树;田中聪;小谷敏也;出羽恭子;井上壮一
代理机构	北京市中咨律师事务所	代理人	暂无

摘要

本发明提供一种图形数据的制作方法，包括准备含有设计图形的集成电路图形；设定复制所述设计图形时形成在处理基板上的第1图形、或将第1图形用作掩模加工所述处理基板所形成的第2图形的容许误差范围；在所述容许误差范围内，制作目标图形；在考虑到复制所述设计图形时的影响、形成第1图形时的影响及形成第2图形时的影响中的一种或一种以上的影响的预定条件下，对所述目标图形进行修正，制作第1修正图形。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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