一种干涉型反射探针式光纤微传感器及其制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201410144204.2
IPC分类号：G01D5/32;G01D5/353;G02B6/255
申请日期：
2014-04-11
申请人：
北京理工大学

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专利名称	一种干涉型反射探针式光纤微传感器及其制作方法
申请号	CN201410144204.2	申请日期	2014-04-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-07-23	公开/公告号	CN103940456A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01D5/32 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01D 非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试 G01D5/00 用于传递传感构件的输出的机械装置；将传感构件的输出变换成不同变量的装置，其中传感构件的形式和特性不限制变换装置；非专用于特定变量的变换器（G01D 3/00优先；专门适用于给出除变量的瞬时值以外的结果的仪表入G01D 1/00）〔6〕 G01D5/26 采用光学装置，即应用红外光、可见光或紫外光 G01D5/32 利用光束的减弱或者全部或局部的闭塞（G01D 5/40优先）	IPC分类号	G;0;1;D;5;/;3;2;;;G;0;1;D;5;/;3;5;3;;;G;0;2;B;6;/;2;5;5查看分类表>
申请人	北京理工大学	申请人地址	北京市海淀区中关村南大街5号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京理工大学	当前权利人	北京理工大学
发明人	姜澜;曹志涛;王素梅;王鹏;张飞
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种干涉型反射探针式光纤微传感器及其制作方法，属于微型传感器技术领域。本发明的传感器，包括光纤接入段、光纤锥汇聚段、光纤半球反射段和模式激发器；光纤接入段为圆柱形的未加工裸光纤，光纤半球反射段为半球形结构，光纤锥汇聚段为光纤接入段向光纤半球反射段的锥形过渡；本发明采用熔融法将一段光纤拉制成两段前段为锥段、前端端部为半球头反射面的传感器，在光纤锥汇聚段上采用飞秒激光脉冲技术在锥表面沿径向向内加工微孔，作为模式激发器。本发明的传感器能够检测环境中气体浓度的变化，还可用于检测大范围温度变化。

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