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处理装置和处理方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN03800408.9
  • IPC分类号:H01L21/283;H01L21/205;C23C16/52
  • 申请日期:
    2003-01-17
  • 申请人:
    东京毅力科创株式会社
著录项信息
专利名称处理装置和处理方法
申请号CN03800408.9申请日期2003-01-17
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2004-07-21公开/公告号CN1515024
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/283IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;2;8;3;;;H;0;1;L;2;1;/;2;0;5;;;C;2;3;C;1;6;/;5;2查看分类表>
申请人东京毅力科创株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东京毅力科创株式会社当前权利人东京毅力科创株式会社
发明人河南博;松冈孝明
代理机构北京纪凯知识产权代理有限公司代理人龙淳
摘要
由TMP(22)、干式泵(23)构成连接到处理室(13)的排气线路(15)。处理室(13)和TMP(22)通过第一排气管(25)连接,而TMP(22)和干式泵(23)通过第二排气管(28)连接。测定部(24)监视流过第二排气管(28)的排气气体中的TiCl4或NH3的分压。在处理室(13)内,将两种处理气体交替供给规定时间,如果供给的一种处理气体的排气气体中的分压减少至规定值,则控制装置(12)开始另一种处理气体的供给。

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