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纵型热处理装置及其控制方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201110268903.4
  • IPC分类号:H01L21/00
  • 申请日期:
    2011-09-07
  • 申请人:
    东京毅力科创株式会社
著录项信息
专利名称纵型热处理装置及其控制方法
申请号CN201110268903.4申请日期2011-09-07
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2012-04-04公开/公告号CN102403195A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/00IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人东京毅力科创株式会社申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东京毅力科创株式会社当前权利人东京毅力科创株式会社
发明人吉井弘治,山口达也,王文凌,斋藤孝规
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)代理人刘新宇
摘要
提供一种使处理容器内的温度高精度地收敛到目标温度并且能够缩短收敛时间的纵型热处理装置及其控制方法。热处理装置(1)具备:炉本体(5)、设置在炉本体(5)内周面的加热器(18A)、配置在炉本体(5)内的处理容器(3)、连接在炉本体(5)的冷却介质供给鼓风机(53)和冷却介质排气鼓风机(63)以及设置在处理容器(3)内的温度传感器(50)。来自温度传感器(50)的信号发送给控制装置(51)的加热器输出运算部(51a)。在加热器输出运算部(51a)中,根据由设定温度决定部(51c)求出的设定温度(A)和来自温度传感器(50)的温度来求出在仅用加热器(18A)进行温度调整时的加热器输出。鼓风机输出运算部(51b)根据加热器输出来产生鼓风机输出。

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