一种离子束流自动测量系统及测量方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201210313386.2
IPC分类号：G01T1/29
申请日期：
2012-08-29
申请人：
中国科学院合肥物质科学研究院

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专利名称	一种离子束流自动测量系统及测量方法
申请号	CN201210313386.2	申请日期	2012-08-29
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-12-12	公开/公告号	CN102819033A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01T1/29 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01T 核辐射或X射线辐射的测量（材料的辐射分析，质谱测定法入G01N 23/00用以测定辐射或粒子的存在、强度、密度或能量的管入H01J 47/00） G01T1/00 X射线辐射、γ射线辐射、微粒子辐射或宇宙线辐射的测量（G01T 3/00，G01T 5/00优先）〔2〕 G01T1/29 对辐射束流的测量，例如，测量射束位置或截面；辐射的空间分布的测量〔2〕	IPC分类号	G;0;1;T;1;/;2;9查看分类表>
申请人	中国科学院合肥物质科学研究院	申请人地址	安徽省合肥市蜀山湖路350号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院合肥物质科学研究院	当前权利人	中国科学院合肥物质科学研究院
发明人	陈学勇;宋逢泉;祝庆军;廖燕飞;宋钢
代理机构	北京科迪生专利代理有限责任公司	代理人	成金玉

摘要

一种离子束流自动测量系统及测量方法，将离子束流的四个参数（束流强度、发射度、能散度、单原子离子比）的测量探头有机集成在一个真空室中，用来测量离子束流的束流强度、发射度、能散度和单原子离子比。四个参数的测量探头是可运动的，其运动由步进电机驱动，并由计算机控制步进电机的运行、测量数据的采集与处理。本发明的优点在于：（1）可以在离子源稳定运行不停机的状态下完成对离子束流所有参数的测量；（2）减少了各个参数测量装置的安装与拆卸工序，降低对离子源和各参数测量装置的损坏，同时使测量过程方便、快速；（3）降低环境因素的影响，提高参数测量的精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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