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一种等离子辉光化学气相沉积集成系统

实用新型有效专利
  • 申请号:
    CN201820970476.1
  • IPC分类号:C23C16/505
  • 申请日期:
    2018-06-22
  • 申请人:
    上海微行炉业有限公司
著录项信息
专利名称一种等离子辉光化学气相沉积集成系统
申请号CN201820970476.1申请日期2018-06-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/505IPC分类号C23C16/505查看分类表>
申请人上海微行炉业有限公司申请人地址
上海市松江区泖港镇中民路599弄1号第二幢一层-A*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微行炉业有限公司当前权利人上海微行炉业有限公司
发明人凤旭;徐晓伟;周佳崎
代理机构上海远同律师事务所代理人张坚
摘要
本实用新型公开了一种等离子辉光化学气相沉积集成系统,包括并排设于底部的射频电源控制箱、电控箱、真空箱、设于上部的承载台、设于承载台上的等离子感应器和管式加热炉、横向贯穿于等离子感应器和管式加热炉的真空管,真空管一端用以进气、进料,另一端连接至用以抽真空的真空箱。通过将多个系统集成为一台整机,占地面积小、布置合理,操作维护方便。采用轨道式管式加热炉,通过移动可方便对工件的加热与冷却之间的切换,从而缩小了冷却时间,提高了作业效率。

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