一种超精密复合抛光方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201210181335.9
IPC分类号：B24B35/00
申请日期：
2012-06-04
申请人：
上海卡贝尼精密陶瓷有限公司

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引证文献

著录项信息

专利名称	一种超精密复合抛光方法
申请号	CN201210181335.9	申请日期	2012-06-04
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2012-09-19	公开/公告号	CN102672593A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B35/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B35/00 为超精加工工件表面而设计的机床或装置，即利用磨块作高频往复运动（B24B 3/00优先）	IPC分类号	B;2;4;B;3;5;/;0;0查看分类表>
申请人	上海卡贝尼精密陶瓷有限公司	申请人地址	上海市浦东新区新元南路600号3幢201室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	卡贝尼新材料科技（上海）有限公司	当前权利人	卡贝尼新材料科技（上海）有限公司
发明人	陶岳雨;陶近翁
代理机构	上海泰能知识产权代理事务所	代理人	宋缨;孙健

摘要

本发明涉及一种超精密复合抛光方法，包括：（1）化学机械抛光：采用超细软磨粒，高性能石蜡和合成树脂制得的软材质研具以及高效活性加工液进行化学机械抛光；水合抛光：采用过热水蒸气、抛光研具和加热器进行水合抛光；非接触浮动抛光：采用SiO2胶粒、CeO2磨粒、研具和抛光液进行非接触浮动抛光；（2）对工件加工时，同时实施或交替实施上述化学机械抛光、水合抛光和非接触浮动抛光，即得经过复合抛光的工件。本发明在加工表面产生交互抛光作用，明显提高了加工质量和加工工效；主要用于功能陶瓷元器件最终超精密抛光加工，不仅抛光速度快，比传统单一抛光方法提高3-5倍。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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