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一种平板显示器件生产铁电薄膜烧结装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202220135957.7
  • IPC分类号:H01L21/67
  • 申请日期:
    2022-01-19
  • 申请人:
    东莞市腾顺保电子科技有限公司
著录项信息
专利名称一种平板显示器件生产铁电薄膜烧结装置
申请号CN202220135957.7申请日期2022-01-19
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人东莞市腾顺保电子科技有限公司申请人地址
广东省东莞市塘厦镇骏鹏路2号2栋201室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东莞市腾顺保电子科技有限公司当前权利人东莞市腾顺保电子科技有限公司
发明人詹荣鑫
代理机构重庆创新专利商标代理有限公司代理人李智祥
摘要
本实用新型涉及一种薄膜烧结装置,尤其涉及一种平板显示器件生产铁电薄膜烧结装置。本实用新型提供一种适用于烘烤大面积的薄膜且每次烘烤薄膜的厚度均匀的平板显示器件生产铁电薄膜烧结装置。本实用新型提供了这样一种平板显示器件生产铁电薄膜烧结装置,包括加热板,第一固定架的上端设置有加热板;加热管,加热板的下部固定式设置有加热管;托盘,加热板上端滑动式设置有托盘;第一握把,托盘上侧前部设置有第一握把;固定座,第一固定架的内侧后部左右对称式设置有固定座。刷板材质为高温塑料能够长期在高温环境下使用并保持良好的机械性能,更好的完成刷平工作。

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