一种平板显示器件生产铁电薄膜烧结装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202220135957.7
IPC分类号：H01L21/67
申请日期：
2022-01-19
申请人：
东莞市腾顺保电子科技有限公司

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专利名称	一种平板显示器件生产铁电薄膜烧结装置
申请号	CN202220135957.7	申请日期	2022-01-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	东莞市腾顺保电子科技有限公司	申请人地址	广东省东莞市塘厦镇骏鹏路2号2栋201室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东莞市腾顺保电子科技有限公司	当前权利人	东莞市腾顺保电子科技有限公司
发明人	詹荣鑫
代理机构	重庆创新专利商标代理有限公司	代理人	李智祥

摘要

本实用新型涉及一种薄膜烧结装置，尤其涉及一种平板显示器件生产铁电薄膜烧结装置。本实用新型提供一种适用于烘烤大面积的薄膜且每次烘烤薄膜的厚度均匀的平板显示器件生产铁电薄膜烧结装置。本实用新型提供了这样一种平板显示器件生产铁电薄膜烧结装置，包括加热板，第一固定架的上端设置有加热板；加热管，加热板的下部固定式设置有加热管；托盘，加热板上端滑动式设置有托盘；第一握把，托盘上侧前部设置有第一握把；固定座，第一固定架的内侧后部左右对称式设置有固定座。刷板材质为高温塑料能够长期在高温环境下使用并保持良好的机械性能，更好的完成刷平工作。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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