加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

均匀化氮化硼涂层的制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201510711019.1
  • IPC分类号:C23C16/34
  • 申请日期:
    2015-10-28
  • 申请人:
    上海大学
著录项信息
专利名称均匀化氮化硼涂层的制备方法
申请号CN201510711019.1申请日期2015-10-28
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2016-02-03公开/公告号CN105296960A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/34IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;3;4查看分类表>
申请人上海大学申请人地址
上海市宝山区上大路99号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海大学当前权利人上海大学
发明人李爱军;李琳琳;彭雨晴;白瑞成;吴彪;贾林涛;汤哲鹏
代理机构上海上大专利事务所(普通合伙)代理人顾勇华
摘要
本发明涉及一种均匀化氮化硼涂层的制备方法。给方法以三氯化硼(BCl3)和氨气(NH3)为反应气体,通入反应器中,先在混合区混合均匀,再在沉积反应区发生表面沉积,最后将所得样品进行高温热处理,经扫描隧道显微镜(SEM)、傅立叶红外(FT-IR)和X射线衍射(XRD)检测,制备出厚度均匀、成分单一、结晶度较高的氮化硼涂层。此方法可用于复合材料中氮化硼界面的制备其它样品表面氮化硼涂层的制备,还可用于研究氮化硼气相沉积过程及机理的研究。该方法主要解决的是双组元化学气相沉积氮化硼过程中气体混合不均的问题,以提高氮化硼涂层的均匀度,更好地控制涂层厚度。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供