首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据，仅供参考，实际以国家知识产权局展示为准

用于等离子体处理中均匀性控制的锥形上电极

发明专利有效专利

申请号：
CN201910106940.1
IPC分类号：H01J37/04;H01J37/32
申请日期：
2019-02-02
申请人：
朗姆研究公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于等离子体处理中均匀性控制的锥形上电极
申请号	CN201910106940.1	申请日期	2019-02-02
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-09-24	公开/公告号	CN110277293A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/04 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/04 电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;0;4;;;H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	朗姆研究公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	朗姆研究公司	当前权利人	朗姆研究公司
发明人	陈志刚;阿列克谢·马拉霍塔诺夫;约翰·帕特里克·霍兰德;普拉提克·雅各布·曼凯地;安东尼·德拉·列拉;哈利·金姆;沈亨柱
代理机构	上海胜康律师事务所	代理人	李献忠;张华

摘要

本发明涉及用于等离子体处理中均匀性控制的锥形上电极。一种用于衬底处理系统中的上电极包括下表面。所述下表面包括第一部分和第二部分，并且是面向等离子体的。所述第一部分包括具有第一厚度的第一表面区域。所述第二部分包括具有变化的厚度的第二表面区域，使得所述第二部分从第二厚度过渡到所述第一厚度。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供