一种定时腐蚀装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201520095097.9
IPC分类号：G01N1/32
申请日期：
2015-02-10
申请人：
深圳职业技术学院

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种定时腐蚀装置
申请号	CN201520095097.9	申请日期	2015-02-10
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N1/32 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N1/00 取样；制备测试用的样品（用于自动分析的材料处理入G01N 35/00） G01N1/28 测试用样品的制备（将样品安装在显微镜载片上入G02B 21/34；电子显微镜中支承被分析的物品或材料的装置入H01J 37/20） G01N1/32 抛光；腐蚀	IPC分类号	G;0;1;N;1;/;3;2查看分类表>
申请人	深圳职业技术学院	申请人地址	广东省深圳市南山区西丽湖深圳职业技术学院变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳职业技术学院	当前权利人	深圳职业技术学院
发明人	徐炜波;赵升升
代理机构	深圳市顺天达专利商标代理有限公司	代理人	王小青

摘要

本实用新型涉及一种定时腐蚀装置，包括：底座；从所述底座向上延伸的支柱；连接在所述支柱顶端的横梁；设置在所述横梁上的滑动支架；用于容纳基片样品的样品框；用于驱动所述样品框在垂直方向上的提起位置和下降位置之间移动的垂直驱动汽缸，所述垂直驱动汽缸设置在所述滑动支架上，所述样品框连接在所述垂直驱动汽缸上；用于容纳腐蚀溶液的腐蚀箱，顶部开口且设置在所述横梁下方；控制箱，包括定时器，所述控制箱与所述垂直驱动汽缸电连接。通过定时器预设腐蚀时间，使数次腐蚀保持在相近水平，从而为逐层腐蚀和研究硬质薄膜沿层深分布提供设备支持。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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