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一种金属铜的抛光液

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200710047467.1
  • IPC分类号:H01L21/312
  • 申请日期:
    2007-10-26
  • 申请人:
    安集微电子(上海)有限公司
著录项信息
专利名称一种金属铜的抛光液
申请号CN200710047467.1申请日期2007-10-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2009-04-29公开/公告号CN101418191
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/312
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;1;2查看分类表>
申请人安集微电子(上海)有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江高科技园区龙东大道3000号5号楼613-618室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人安集微电子(上海)有限公司当前权利人安集微电子(上海)有限公司
发明人宋伟红;姚颖;陈国栋;包建鑫
代理机构上海翰鸿律师事务所代理人李佳铭
摘要
本发明公开了一种金属铜的抛光液,其特征在于:含有:磨料、氧化剂、水和下述络合剂中的一种或多种:磨料、氧化剂、水和下述络合剂中的一种或多种:嘧啶及其衍生物、带氨基和/或巯基的三唑环、哌啶及其衍生物以及哌嗪及其衍生物。本发明的抛光液具有的Cu的去除速率对下压力变化的敏感度较高。采用本发明的抛光液抛光后,铜金属表面光洁,表面形貌较好。

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