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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种台阶型红外探测器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110713214.3
  • IPC分类号:G01J5/24
  • 申请日期:
    2021-06-25
  • 申请人:
    北京北方高业科技有限公司
著录项信息
专利名称一种台阶型红外探测器
申请号CN202110713214.3申请日期2021-06-25
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-09-28公开/公告号CN113447146A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01J5/24IPC分类号G;0;1;J;5;/;2;4查看分类表>
申请人北京北方高业科技有限公司申请人地址
北京市丰台区育仁南路1号院4号楼13层1301 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京北方高业科技有限公司当前权利人北京北方高业科技有限公司
发明人翟光杰;潘辉;武佩;翟光强
代理机构北京开阳星知识产权代理有限公司代理人安伟
摘要
本公开涉及一种台阶型红外探测器,红外探测器中CMOS测量电路系统和CMOS红外传感结构均使用CMOS工艺制备,红外探测器中,悬空微桥结构临近CMOS测量电路系统的表面对应柱状结构所在位置呈阶梯状,悬空微桥结构未与柱状结构接触的表面高于悬空微桥结构与柱状结构接触的表面,柱状结构为实心柱状结构,加固结构对应柱状结构设置且位于柱状结构远离CMOS测量电路系统的一侧。通过本公开的技术方案,解决了传统MEMS工艺红外探测器的性能低,像素规模低,良率低以及一致性差等问题,有效降低了牺牲层中间区域的凹陷程度,优化了整个红外探测器的平坦化程度,提升了红外探测器的结构稳定性。

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