金属复合材料制备装置及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201711371285.X
IPC分类号：C23C14/24;C23C14/54;H01M4/36;H01M4/583;H01M4/62
申请日期：
2017-12-19
申请人：
成都亦道科技合伙企业（有限合伙）

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	金属复合材料制备装置及其制备方法
申请号	CN201711371285.X	申请日期	2017-12-19
法律状态	暂无	申报国家	暂无
公开/公告日	2018-05-22	公开/公告号	CN108060393A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/24 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/24 真空蒸发〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;5;4;;;H;0;1;M;4;/;3;6;;;H;0;1;M;4;/;5;8;3;;;H;0;1;M;4;/;6;2查看分类表>
申请人	成都亦道科技合伙企业（有限合伙）	申请人地址	四川省成都市蒲江县寿安镇迎宾大道88号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	成都大超科技有限公司	当前权利人	成都大超科技有限公司
发明人	张晓琨;闫宗楷
代理机构	成都帝鹏知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	黎照西

摘要

本发明涉及锂电池领域，特别涉及一种金属复合材料制备装置及其制备方法，所述金属复合材料制备装置包括沉积腔体和独立设置于所述沉积腔体内的基台及多个独立设置且气压可调的蒸发腔；所述蒸发腔内设置有放置蒸料的蒸发位，所述基台上用于放置待沉积基底，所述蒸料由蒸发位蒸发并沉积在所述待沉积基底之上。所述制备方法中，通过调节蒸发腔的气体排出速率与所述蒸发位的蒸发速率，使原子由蒸发腔进入沉积腔体内，并于以所需沉积速率在基底上沉积。基于上述方法可提高多元材料共蒸发的可控性，从而更精准地控制金属或金属化合物蒸料的蒸发速率，以提高所述蒸发沉积的沉积物中蒸料比例范围及蒸发沉积的均匀度。

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