一种在磁光玻璃上制备磁光生物传感微通道的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201710981738.4
IPC分类号：B23K26/364;B23K26/402
申请日期：
2017-10-20
申请人：
河南工业大学

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著录项信息

专利名称	一种在磁光玻璃上制备磁光生物传感微通道的方法
申请号	CN201710981738.4	申请日期	2017-10-20
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2018-03-30	公开/公告号	CN107855662A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23K26/364 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23K 钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工（用金属的挤压来制造金属包覆产品入B21C 23/22；用铸造方法制造衬套或包覆层入B22D 19/08；用浸入方式的铸造入B22D 23/04；用烧结金属粉末制造复合层入B22F 7/00；机床上的仿形加工或控制装置入B23Q；不包含在其他类目中的包覆金属或金属包覆材料入C23C；燃烧器入F23D） B23K26/00 用激光束加工，例如焊接，切割或打孔〔2，3，2014.01〕 B23K26/36 除掉材料（B23J26/55，B23K26/57优先）〔7，2014.01〕 B23K26/362 激光刻蚀〔2014.01〕 B23K26/364 用于制造槽或沟的，例如刻出一个断开的起始槽〔2014.01〕	IPC分类号	B;2;3;K;2;6;/;3;6;4;;;B;2;3;K;2;6;/;4;0;2查看分类表>
申请人	河南工业大学	申请人地址	河南省郑州市高新技术产业开发区莲花街100号河南工业大学科技处变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	河南工业大学	当前权利人	河南工业大学
发明人	陈秋玲;王晖
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开一种在磁光玻璃上制作磁光生物传感用微通道的方法：将微通道图案通过软件绘制导入，使用40×物镜和520μm狭缝聚焦激光于抛光良好玻璃表面&激光束透射正交方向。以100kHz重复频率，0.1‑0.5W功率，21‑25A电流,重复扫描1‑3000次。按设定扫描图案移动激光束，直至在玻璃表面写出三维微通道。开通吹气装置辅助飞秒激光去除烧蚀玻璃基体碎屑，超声波去离子水震荡清洗后，280‑300℃下退2小时,所得微通道40‑50µm宽，20‑30µm深。该方法避免飞秒激光刻写玻璃微通道技术存在的酸蚀工艺，为磁光传感提供磁光性能优良的载体，提高器件磁场响应灵敏度和速度。本方法简单无毒污染，能耗低。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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