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一种减少DCB产品皱皮疙瘩不良的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110284920.0
  • IPC分类号:H01L23/14;H01L23/15;H01L21/48
  • 申请日期:
    2021-03-17
  • 申请人:
    江苏富乐德半导体科技有限公司
著录项信息
专利名称一种减少DCB产品皱皮疙瘩不良的方法
申请号CN202110284920.0申请日期2021-03-17
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-08-06公开/公告号CN113224008A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L23/14IPC分类号H;0;1;L;2;3;/;1;4;;;H;0;1;L;2;3;/;1;5;;;H;0;1;L;2;1;/;4;8查看分类表>
申请人江苏富乐德半导体科技有限公司申请人地址
江苏省盐城市东台市城东新区鸿达路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏富乐德半导体科技有限公司当前权利人江苏富乐德半导体科技有限公司
发明人蔡俊;贺贤汉;马敬伟;陈元华
代理机构上海申浩律师事务所代理人赵建敏
摘要
本发明涉及一种减少DCB产品皱皮疙瘩不良的方法,包括如下步骤:A、研磨:采用刷辊对带有皱皮疙瘩的一面进行研磨,速度设置为0.8~1.0m/min,研磨量控制在7~12μm范围内,还原原始铜片表面的光亮,而后经纯水超声清洗去除研磨下来的异物;B、烧结再结晶:将步骤A处理后得到的产品置于烧结炉内,并通入氮气和氧气混合气,在1075~1083℃条件下烧结,使铜片表面再结晶。研磨可以完全去除表面的色差,绝大多数的疙瘩皱皮缺陷,回归原始铜表面的光洁;再结晶实现产品晶粒和粗糙度与正常产品相当,焊接和打线性能和正常产品相当,一定程度上提升良率,降低了产品报废率。

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