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行进车系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210048074.3
  • IPC分类号:B65G49/06
  • 申请日期:
    2010-03-29
  • 申请人:
    株式会社IHI
著录项信息
专利名称行进车系统
申请号CN201210048074.3申请日期2010-03-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2012-07-11公开/公告号CN102556664A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B65G49/06IPC分类号B;6;5;G;4;9;/;0;6查看分类表>
申请人株式会社IHI申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社IHI当前权利人株式会社IHI
发明人石桥希远;村山晋;和田芳幸;大野俊孝
代理机构中国专利代理(香港)有限公司代理人朱美红;杨楷
摘要
本发明提供一种行进车系统。行进车系统具备实施基板的保管或规定的处理的基板处理装置、使基板在收容在基板盒(1)中的状态下沿上下方向升降的升降部(10)、将基板盒(1)朝向基板处理装置水平移动的水平移动部(8a、8b)、将基板盒(1)沿着朝向基板处理装置设置的轨道输送的无人行进台车(AG)、和在轨道(L)的上方保持并保管基板盒(1)的基板盒保管部(BF1)。

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