基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量装置及方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201410153744.7
IPC分类号：G01B15/00
申请日期：
2014-04-16
申请人：
中国科学技术大学

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著录项信息

专利名称	基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量装置及方法
申请号	CN201410153744.7	申请日期	2014-04-16
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-07-02	公开/公告号	CN103900502A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B15/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B15/00 以采用波或粒子辐射为特征的计量设备（G01B 9/00，G01B 11/00优先）〔4〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人	中国科学技术大学	申请人地址	安徽省合肥市包河区金寨路96号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学技术大学	当前权利人	中国科学技术大学
发明人	吴自玉;王圣浩;王志立;高昆;韩华杰;张灿;杨蒙
代理机构	中科专利商标代理有限责任公司	代理人	宋焰琴

摘要

本发明公开了一种基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量装置，该装置包括：同步辐射加速器，用于产生平行同步X射线光；双晶单色器将X射线光转换为单一波长、高准直的平行X射线；X射线垂直照射顺序平行放置的指示光栅和标尺光栅，以产生莫尔条纹；标尺光栅与运动部件连接在一起；X射线探测器，用于探测莫尔条纹并输出相应的电信号；条纹细分和显示装置，用于对X射线探测器输出的电信号进行条纹细分和显示处理。本发明还公开了一种基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量方法。本发明能够提高现有光栅莫尔条纹位移测量技术的分辨率和灵敏度，增加两块光栅之间的距离，降低光栅安装过程中的难度，提高系统使用的稳定性和可靠性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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