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一种微型片转移装置和微型片转移方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202211111144.5
IPC分类号：B65G47/74;B65G47/90
申请日期：
2022-09-13
申请人：
深圳清华大学研究院;清华大学

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种微型片转移装置和微型片转移方法
申请号	CN202211111144.5	申请日期	2022-09-13
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2022-11-15	公开/公告号	CN115339874A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B65G47/74 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B6 交通运输 B65 输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料 B65G 运输或贮存装置，例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机（包装用的入B65B；搬运薄的或细丝状材料如纸张或细丝入B65H；起重机入B66C；便携式或可移动的举升或牵引器具，如升降机入B66D；用于装载或卸载目的的升降货物的装置，如叉车，入B66F9/00；不包括在其他类目中的瓶子、罐、罐头、木桶、桶或类似容器的排空入B67C9/00；液体分配或转移入B67D；将压缩的、液化的或固体化的气体灌入容器或从容器内排出入F17C；流体用管道系统入F17D） B65G47/00 与输送机有关的物件或物料搬运装置；使用这些装置的方法 B65G47/74 特殊种类或型式的供料、转移或卸料装置	IPC分类号	B;6;5;G;4;7;/;7;4;;;B;6;5;G;4;7;/;9;0查看分类表>
申请人	深圳清华大学研究院;清华大学	申请人地址	广东省深圳市南山区粤海街道高新技术工业村变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳清华大学研究院,清华大学	当前权利人	深圳清华大学研究院,清华大学
发明人	杨鼎麟;聂锦辉;郑泉水
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	李林

摘要

本发明涉及半导体器件的技术领域，公开了一种微型片转移装置和微型片转移方法，微型片转移装置包括用于转移微型片的触头以及用于驱动所述触头调整位姿的探针，所述触头采用透明材料制成，所述探针与所述触头偏置，且所述探针与所述触头固定连接或一体成型。本发明提供的微型片转移装置能够为操作人员使用显微镜从上方观察提供有利条件，从而提高微型片转移操作的精确度。

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