TFT基板及其制作方法、显示面板

发明专利有效专利

申请号：
CN201310722567.5
IPC分类号：H01L27/12;H01L21/77
申请日期：
2013-12-24
申请人：
厦门天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司

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著录项信息

专利名称	TFT基板及其制作方法、显示面板
申请号	CN201310722567.5	申请日期	2013-12-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-07-23	公开/公告号	CN103943630A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L27/12 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L27/00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件（其零部件入H01L 23/00，H01L 29/00至H01L 51/00；由多个单个固态器件组成的组装件入H01L 25/00）〔2，8〕 H01L27/02 包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的〔2〕 H01L27/12 其衬底为非半导体的，例如为绝缘体的〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;7;/;1;2;;;H;0;1;L;2;1;/;7;7查看分类表>
申请人	厦门天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司	申请人地址	福建省厦门市翔安区翔安西路6999号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	厦门天马微电子有限公司,天马微电子股份有限公司	当前权利人	厦门天马微电子有限公司,天马微电子股份有限公司
发明人	彭涛
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	王宝筠

摘要

本发明所提供了一种TFT基板，包括基板，依次层叠于基板一侧表面上的缓冲层、有源层和栅极绝缘层，缓冲层背离基板一侧的表面具有一开口，有源层填充该开口，且有源层背离基板一侧的表面与栅极绝缘层表面直接接触。本发明所提供的TFT基板的缓冲层具有开口，有源层的一部分或嵌入该开口内，从而有源层边缘的阶梯较低和平缓，进而栅极绝缘层在有源层主体区域和边缘的厚度较均匀，从而有效的减轻了由栅极绝缘层厚度不均引起的驼峰效应，提高了器件的开启速度，使器件的可靠性提高；且由于本发明中TFT有源层边缘的阶梯较低和平缓，栅极绝缘膜层的覆盖性较好，因此极好地改善了有源层边缘“底切”引起的栅源短路问题，提高了器件的可靠性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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