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一种集成宽频带天线及其制作方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201210100299.9
  • IPC分类号:--
  • 申请日期:
    2012-04-09
  • 申请人:
    中国科学院上海微系统与信息技术研究所
著录项信息
专利名称一种集成宽频带天线及其制作方法
申请号CN201210100299.9申请日期2012-04-09
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-10-23公开/公告号CN103367863A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号暂无IPC分类号暂无查看分类表>
申请人中国科学院上海微系统与信息技术研究所申请人地址
上海市长宁区长宁路865号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院上海微系统与信息技术研究所当前权利人中国科学院上海微系统与信息技术研究所
发明人王天喜;罗乐;徐高卫
代理机构上海光华专利事务所代理人李仪萍
摘要
本发明提供一种集成宽频带天线及其制作方法,通过在Si衬底上制作接地平面,在接地平面上制作具有流动性的有机介电材料并固化作为天线的基板,在该基板上制作天线图形,并在天线图形对应的区域刻蚀所述Si衬底形成介质空腔。本发明的集成宽频带天线克服了硅基集成天线介质基板较薄的缺点,与传统硅基集成天线相比,显著增加了天线的带宽并提高了天线的性能。本发明的制作工艺流程与埋置型芯片封装兼容,所制作出来的天线可以和芯片一起封装,与传统的外接天线方法相比,减小了信号线的传输距离,从而减小了损耗。同时,天线与芯片集成在一起,提高了可靠性,减小了体积,符合现代集成电路封装的趋势。

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