光照射装置及光照射方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200980122247.8
IPC分类号：B01J19/12;H01L21/301
申请日期：
2009-05-22
申请人：
琳得科株式会社

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著录项信息

专利名称	光照射装置及光照射方法
申请号	CN200980122247.8	申请日期	2009-05-22
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-05-11	公开/公告号	CN102056658A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B01J19/12 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B01 一般的物理或化学的方法或装置 B01J 化学或物理方法，例如，催化作用或胶体化学；其有关设备〔2〕 B01J19/00 化学的，物理的或物理—化学的一般方法；及其有关设备〔3，2006.01〕 B01J19/08 利用直接应用电能，波能或粒子辐射的方法；其所用设备（利用冲击波的入B01J3/08）〔3〕 B01J19/12 利用电磁波〔3〕	IPC分类号	B;0;1;J;1;9;/;1;2;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;1查看分类表>
申请人	琳得科株式会社	申请人地址	日本国东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	琳得科株式会社	当前权利人	琳得科株式会社
发明人	小林贤治
代理机构	上海金盛协力知识产权代理有限公司	代理人	段迎春

摘要

一种光照射装置及光照射方法，其光照射装置(10)包括把在电路形成面上粘贴了具有紫外线硬化型粘合剂的粘合片(S)的半导体晶片(W)作为被照射物进行支承的支承机构(11)；和在间隔规定距离的位置上具有焦点轴(P)并被设置成可以进行摇头动作的紫外线照射机构(13)。支承机构(11)被支承于多关节机械手(12)上，当紫外线照射机构(13)做摇头动作的时候，让晶片(W)相对地位移，以使粘合片(S)的粘合剂层面(SA)不偏离焦点轴(P)的位置。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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