一种微悬臂梁传感器及其制作方法

发明专利无效专利

申请号：
CN03109491.0
IPC分类号：G01D5/12H01L49/00
申请日期：
2003-04-10
申请人：
北京大学

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引证文献

著录项信息

专利名称	一种微悬臂梁传感器及其制作方法
申请号	CN03109491.0	申请日期	2003-04-10
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-10-13	公开/公告号	CN1536335
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01D5/12 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01D 非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试 G01D5/00 用于传递传感构件的输出的机械装置；将传感构件的输出变换成不同变量的装置，其中传感构件的形式和特性不限制变换装置；非专用于特定变量的变换器（G01D 3/00优先；专门适用于给出除变量的瞬时值以外的结果的仪表入G01D 1/00）〔6〕 G01D5/12 采用电或磁装置（G01D 5/06优先）〔3〕	IPC分类号	G01D5/12;H01L49/00查看分类表>
申请人	北京大学	申请人地址	北京市海淀区北京大学微电子学*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京大学	当前权利人	北京大学
发明人	于晓梅;张大成
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	徐宁;关畅

摘要

本发明涉及一种微悬臂梁传感器及其制作方法，它包括一芯片，所述芯片上设置有至少一组传感单元，所述传感单元由组成惠斯通电桥的四个完全相同的力敏电阻和两个悬臂梁组成，其中两个所述力敏电阻位于所述芯片的衬底上，另外两个电阻分别位于所述两悬臂梁上，其中一个所述悬臂梁作为测量悬臂梁，另一个所述悬臂梁作为参考悬臂梁，在所述芯片上设置有一微槽，所述悬臂梁设置在所述微槽内，所述力敏电阻的材料采用单晶硅或多晶硅，在所述单晶硅或多晶硅正面掺杂有硼离子，在所述力敏电阻上、下表面设置有氮化硅或氧化硅保护层，共同组成所述悬臂梁，所述悬臂梁上具有一窗口，使所述悬臂梁呈U形设置在所述芯片上，所述测量悬臂梁表面设置有敏感层。本发明在环境监测，临床的诊断和治疗、新药开发、食品安全、工业加工控制、军事等领域具有广泛的应用前景。