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用于测量和控制带电粒子笔形射束的多分辨率检测器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610105709.7
  • IPC分类号:A61N5/10
  • 申请日期:
    2016-02-25
  • 申请人:
    皮瑞米德技术咨询公司
著录项信息
专利名称用于测量和控制带电粒子笔形射束的多分辨率检测器
申请号CN201610105709.7申请日期2016-02-25
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-09-07公开/公告号CN105920744A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号A61N5/10IPC分类号A;6;1;N;5;/;1;0查看分类表>
申请人皮瑞米德技术咨询公司申请人地址
美国马萨诸塞州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人皮瑞米德技术咨询公司当前权利人皮瑞米德技术咨询公司
发明人R·P·布瓦索;A·达特;J·戈登;K·奥塔
代理机构北京嘉和天工知识产权代理事务所(普通合伙)代理人严慎
摘要
一种多分辨率检测器包括高分辨率像素化电极和低分辨率像素化电极。高分辨率像素化电极包括第一像素的多个子阵列。每个子阵列中的每个相对位置处的每个分别的第一像素彼此并联电连接。低分辨率像素化电极包括多个第二像素。控制系统接收作为输入的来自每个像素化检测器的输出。控制系统使用这些输入来以高分辨率像素化电极的分辨率确定入射的带电粒子笔形射束的物理位置和横向强度分布。

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