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用于显示装置的布线、薄膜晶体管阵列面板及其制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200610078433.4
  • IPC分类号:G02F1/136;H01L27/00;H01L21/00
  • 申请日期:
    2006-05-26
  • 申请人:
    三星电子株式会社
著录项信息
专利名称用于显示装置的布线、薄膜晶体管阵列面板及其制造方法
申请号CN200610078433.4申请日期2006-05-26
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2006-11-29公开/公告号CN1869797
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02F1/136IPC分类号G;0;2;F;1;/;1;3;6;;;H;0;1;L;2;7;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人三星电子株式会社申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三星显示有限公司当前权利人三星显示有限公司
发明人申原硕;裵良浩;朴弘植
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司代理人李伟
摘要
本发明提供了一种薄膜晶体管阵列面板的制造方法,包括:在基板上形成第一信号线;在第一信号线上顺序地形成栅极绝缘层和半导体层;在栅极绝缘层和半导体层上形成第二信号线;以及形成连接至第二信号线的像素电极。第一信号线和第二信号线中的只少一条包括第一导电氧化物层、含银(Ag)导电层、以及以比第一导电氧化物层低的温度形成的第二导电氧化物层。

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