质量流量控制器系统及控制设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201080047852.6
IPC分类号：G05D7/06;G01F1/00
申请日期：
2010-12-22
申请人：
株式会社堀场STEC

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	质量流量控制器系统及控制设备
申请号	CN201080047852.6	申请日期	2010-12-22
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-11	公开/公告号	CN102576231A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G05D7/06 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G05 控制；调节 G05D 非电变量的控制或调节系统（金属的连续铸造入B22D 11/16；阀门本身入F16K；非电变量的检测见G01各有关小类；电或磁变量的调节入G05F） G05D7/00 流量控制（液位控制入G05D 9/00；比率控制入G05D 11/00；称重装置入G01G） G05D7/06 以使用电装置为特征的	IPC分类号	G;0;5;D;7;/;0;6;;;G;0;1;F;1;/;0;0查看分类表>
申请人	株式会社堀场STEC	申请人地址	日本京都府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社堀场STEC	当前权利人	株式会社堀场STEC
发明人	竹内洋之;米田丰;矶部泰弘
代理机构	北京信慧永光知识产权代理有限责任公司	代理人	周善来;李雪春

摘要

本发明提供一种质量流量控制器系统，可以高精度地控制质量流量控制器输出的流量。所述质量流量控制器系统存储表示基准气体的流量值与试样气体CF值的对应关系的关系数据，使用规定的CF值将目标流量换算为基准气体流量，根据换算得到的基准气体流量和与该基准气体流量对应的CF值计算出试样气体流量，并将试样气体流量和目标流量进行比较，基于试样气体流量和目标流量之间的误差，使用对应关系更新在基准气体流量换算或试样气体流量计算中使用的CF值。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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