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一种长腔长微机电可调谐法布里-珀罗滤波器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410614452.9
  • IPC分类号:G02B26/00
  • 申请日期:
    2014-11-04
  • 申请人:
    中国科学院光电技术研究所
著录项信息
专利名称一种长腔长微机电可调谐法布里-珀罗滤波器
申请号CN201410614452.9申请日期2014-11-04
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2015-02-04公开/公告号CN104330890A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B26/00IPC分类号G;0;2;B;2;6;/;0;0查看分类表>
申请人中国科学院光电技术研究所申请人地址
山东省济南市高新区新泺大街1299号鑫盛大厦1号楼19楼A区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人山东佳联电子商务有限公司当前权利人山东佳联电子商务有限公司
发明人方亮;石振东;汪为民;王强;邱传凯;周崇喜;田中群
代理机构北京科迪生专利代理有限责任公司代理人杨学明;顾炜
摘要
本发明提供一种长腔长微机电可调谐法布里-珀罗滤波器,滤波器的上基板由双面腐蚀后截面呈“W”形的体硅及其下表面的浓硼掺杂层构成,“W”形体硅上表面以透明薄膜作为支撑膜,其上的反射膜作为法布里-珀罗滤波器的前腔镜,“W”形体硅下表面不同区域的浓硼掺杂层可分别作为悬臂梁和上电极。滤波器的下基板由石英玻璃构成,其上表面与前腔镜和上电极对应的区域分别制作有后腔镜和下电极,下表面与后腔镜对应的区域刻有衍射光栅。该微机电滤波器可方便获得200μm以上的初始腔长,能在不同方向上实现单一波长的滤波,具有窄半峰全宽和宽自由光谱范围的优点,在光通讯,光信息读取,激光技术等领域中有广泛的应用前景。

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