光学材料亚表面损伤层厚度的测量方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201210509908.6
IPC分类号：G01B21/08;G01N1/32
申请日期：
2012-12-03
申请人：
南京航空航天大学

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	光学材料亚表面损伤层厚度的测量方法
申请号	CN201210509908.6	申请日期	2012-12-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-04-03	公开/公告号	CN103017713A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B21/08 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B21/00 不适合于本小类其他组中所列的特定类型计量装置的计量设备或其零部件〔3〕 G01B21/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 21/10优先）〔3〕 G01B21/08 用于计量厚度〔3〕	IPC分类号	G;0;1;B;2;1;/;0;8;;;G;0;1;N;1;/;3;2查看分类表>
申请人	南京航空航天大学	申请人地址	江苏省南京市白下区御道街29号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南京航空航天大学	当前权利人	南京航空航天大学
发明人	朱永伟;戴子华;刘婷婷;李军;左敦稳
代理机构	南京天华专利代理有限责任公司	代理人	瞿网兰

摘要

本发明涉及光学精密测量技术领域，特别是一种测量硬脆性光学材料亚表面损伤层厚度的方法，它利用了HF酸的腐蚀性，对加工样件和基体样件（指已完全消除了亚表面损伤的工件）在相同条件下腐蚀，同时，将腐蚀时间及腐蚀操作次序分段标记。第n+1时间段开始，加工样件和基体样件的腐蚀速率相等，则可认为在n时间段，加工样件已被腐蚀到基体，为了有效减小因为实验环境因素及多步重复操作引起的实验积累误差，引入了修正系数Ki，n时间段所对应的积累腐蚀深度为其亚表面损伤层深度。本发明方法测量过程简单快捷，测试精度高，对测试设备要求低。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供