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切削残余部除去装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410065865.6
  • IPC分类号:H01L21/301;B28D5/00
  • 申请日期:
    2014-02-26
  • 申请人:
    松下电器产业株式会社
著录项信息
专利名称切削残余部除去装置
申请号CN201410065865.6申请日期2014-02-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2014-12-03公开/公告号CN104183476A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/301IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;1;;;B;2;8;D;5;/;0;0查看分类表>
申请人松下电器产业株式会社申请人地址
日本国大阪府 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人松下知识产权经营株式会社当前权利人松下知识产权经营株式会社
发明人中村浩二郎;吉野道朗;古重彻
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人雒运朴
摘要
本发明提供一种切削残余部除去装置,其目的在于提高晶片的生产成品率。根据本发明,第一喷嘴(30)喷射流体而在切削残余部(601)与晶片列(60)之间设置间隙,保持臂(710)使切削残余部(601)旋转,而扩宽切削残余部(601)与晶片列(60)之间的间隙且使切片基座(50)与切削残余部(601)剥离,使切削残余部(601)向与切削残余部(601)分开的方向移动,从而能将切削残余部(601)从切片基座(50)除去。由此,在取出晶片(600)时,能抑制晶片(600)与切削残余部(601)接触而产生的晶片(600)的裂纹、缺口等的品质异常,进而能提高晶片的生产成品率。

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