带自对准的掩膜板

发明专利无效专利

申请号：
CN02111916.3
IPC分类号：--
申请日期：
2002-06-03
申请人：
上海交通大学

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	带自对准的掩膜板
申请号	CN02111916.3	申请日期	2002-06-03
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2002-11-27	公开/公告号	CN1381738
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	上海交通大学	申请人地址	上海市华山路1954号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海交通大学	当前权利人	上海交通大学
发明人	李以贵;贾书海;王宏坤
代理机构	上海交达专利事务所	代理人	王锡麟

摘要

用于光纤端面加工的带自对准的掩膜板属于微细加工技术领域。本发明包括：玻璃基板、Au/Cr层、镀镍层和微孔，玻璃基板在最上层，中间为Au/Cr层，下层为镀镍层，玻璃基板、Au/Cr层、镀镍层之间通过胶联或键合连接，微孔在镀镍层上，微孔本身尺寸和光纤外径尺寸相同，对应于微孔处的中间Au/Cr层上有掩膜图形。本发明具有实质性特点和显著进步，本发明可对光纤端面直接进行加工，解决了光纤端面加工技术难，对准程度低的问题，并可对光纤端面进行任意形状和结构的加工，对研制光纤通信用的器件和含有复杂图形的器件具有特别重要的意义。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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