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三轴加速度传感器

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202120187055.3
  • IPC分类号:G01P15/18;G01P15/125
  • 申请日期:
    2021-01-22
  • 申请人:
    上海矽睿科技股份有限公司
著录项信息
专利名称三轴加速度传感器
申请号CN202120187055.3申请日期2021-01-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01P15/18IPC分类号G;0;1;P;1;5;/;1;8;;;G;0;1;P;1;5;/;1;2;5查看分类表>
申请人上海矽睿科技股份有限公司申请人地址
上海市长宁区定西路1328号3楼307室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海矽睿科技股份有限公司当前权利人上海矽睿科技股份有限公司
发明人谢国伟;金怡;颜培力
代理机构上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)代理人孙佳胤
摘要
本实用新型提供了一种三轴加速度传感器,包括:基板,固定设置于基板上的至少一个锚点,与基板表面平行且彼此相互垂直的两方向定义为X方向与Y方向,所在的平面为XY平面,垂直XY平面的方向为Z方向,还包括:第一可动质量块,通过第一弹性元件与锚点连接,所述第一弹性元件为X方向与Y方向的双向弹性元件;第二可动质量块,通过第二弹性元件与第一可动质量块连接,所述第二弹性元件为以Y轴转为转动轴的转臂,使所述第二可动质量块可绕XZ平面转动;第一质量块和第二质量块的重心分别位于锚点Y轴方向的两侧。本实用新型通过设置两个不同重心位置的质量块,通过质量块的旋转消除外界应力对加速度检测的影响。

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