一种用于半导体器件生产的自动全加热装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN03224438.X
IPC分类号：--
申请日期：
2003-03-18
申请人：
佛山市蓝箭电子有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种用于半导体器件生产的自动全加热装置
申请号	CN03224438.X	申请日期	2003-03-18
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	佛山市蓝箭电子有限公司	申请人地址	广东省佛山市禅城区古新路45号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佛山市蓝箭电子股份有限公司	当前权利人	佛山市蓝箭电子股份有限公司
发明人	雒继军
代理机构	佛山市永裕信专利代理有限公司	代理人	朱永忠

摘要

一种用于半导体器件生产的自动全加热装置，属于半导体器件生产设备技术领域。本实用新型要解决的技术问题是在芯片与支架共晶粘合工序中，对于每排芯片单元数量大的支架，其变形量要小，以满足后工序生产要求。为此，加热炉体上部左右两侧做成悬空形状，其中上部纵向全嵌入至少二根加热块，在加热炉体上部从左至右形成预热区、加热区、散热区。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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