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一种光刻胶供应装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201621493050.9
  • IPC分类号:G03F7/16
  • 申请日期:
    2016-12-30
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
著录项信息
专利名称一种光刻胶供应装置
申请号CN201621493050.9申请日期2016-12-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/16IPC分类号G;0;3;F;7;/;1;6查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请人地址
北京市大兴区经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(北京)有限公司,中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
发明人姜国锋
代理机构上海光华专利事务所代理人王华英
摘要
本实用新型提供一种光刻胶供应装置,包括用于存储光刻胶的光刻胶桶;用于暂存光刻胶的暂存容器;以及连通光刻胶桶和所述暂存容器的导流管,供应装置还包括:承载盘,承载盘包括底盘和侧壁,底盘的边缘嵌于侧壁底部的内侧并可相对于侧壁滑动;承载盘内承载光刻胶桶,且承载盘与光刻胶桶光滑接触;重量感应器,重量感应器与底盘连接并侦测光刻胶桶的重量;控制装置,控制装置包括控制器和马达,控制器与重量感应器连接并接收重量感应器的信息以控制马达动作,马达与底盘连接并带动底盘转动。本实用新型的供应装置提高光刻胶的利用率,减少了排泡时的损失,降低成本,减少了排出的光刻胶废液,从而减轻了对环境的污染。

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