电感耦合装置和等离子体处理设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201810319755.6
IPC分类号：H01J37/32
申请日期：
2018-04-11
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司

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著录项信息

专利名称	电感耦合装置和等离子体处理设备
申请号	CN201810319755.6	申请日期	2018-04-11
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-10-22	公开/公告号	CN110364408A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/32 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/32 充气放电管（放电加热的入H05B）	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	北京北方华创微电子装备有限公司	申请人地址	北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	苏恒毅
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	彭瑞欣;姜春咸

摘要

本发明公开了一种电感耦合装置和等离子体处理设备。包括多组射频天线组，每组所述射频天线组均配置有匹配器和射频电源，每组所述射频天线组包括多个子射频天线，每个所述子射频天线的至少部分位于所述工艺腔室内；每个所述区域均对应设置有一组所述射频天线组，每组所述射频天线组均能在对应的所述射频电源的控制下独立向所对应的所述区域传输射频能量。本发明的电感耦合装置，可以产生大面积均匀性的等离子，可以达到良好的均匀性，保证晶片的良品率。另外，还可以最大限度提高能量耦合效率。

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