金刚石膜气体检测传感器

实用新型无效专利

申请号：
CN02244312.6
IPC分类号：--
申请日期：
2002-08-07
申请人：
中国科学院物理研究所

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法律信息

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著录项信息

专利名称	金刚石膜气体检测传感器
申请号	CN02244312.6	申请日期	2002-08-07
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国科学院物理研究所	申请人地址	北京市海淀区中关村南三*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院物理研究所	当前权利人	中国科学院物理研究所
发明人	顾长志;贾继奎;刘维;窦艳
代理机构	北京律诚同业知识产权代理有限公司	代理人	王凤华

摘要

本实用新型涉及一种包含金刚石膜/纳米金刚石膜，用于检测气体的传感器。该传感器包括：衬底、在衬底的一个面上有一层金刚石膜/纳米金刚石膜；其特征在于：在金刚石膜/纳米金刚石膜上的两边各设置一条形金属电极，Au丝测量引线连接在其上；在衬底的另一面制作一金属加热电阻，加热电阻的测量引线连接在加热电阻两端的。本实用新型的金刚石膜/纳米金刚石膜气体传感器具有高选择性，高灵敏度，快速的响应与恢复，良好的一致性及耐高温和抗辐射等高稳定性的优点，同时具有工艺简单，便于集成化的特点，因而适于大批量、低成本生产。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
1	CN102865938B	2012-09-07	2012-09-07	热电偶及其形成方法有效专利	清华大学
2	CN102435642A	2011-08-30	2011-08-30	一种湿度传感器及其制备方法有效专利	广州市德百顺电气科技有限公司
3	CN103477220B	2012-01-10	2012-01-10	用于气体传感器的运行方法以及气体传感器有效专利	罗伯特·博世有限公司
4	CN102865938A	2012-09-07	2012-09-07	热电偶及其形成方法有效专利	清华大学
5	CN103477220A	2012-01-10	2012-01-10	用于气体传感器的运行方法以及气体传感器有效专利	罗伯特·博世有限公司