一种控温的半导体光电特性测试样品架

实用新型专利无效专利

申请号：
CN98201675.1
IPC分类号：--
申请日期：
1998-03-05
申请人：
中国科学院半导体研究所

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种控温的半导体光电特性测试样品架
申请号	CN98201675.1	申请日期	1998-03-05
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国科学院半导体研究所	申请人地址	北京市912信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院半导体研究所	当前权利人	中国科学院半导体研究所
发明人	张砚华;卢励吾
代理机构	中科专利代理有限责任公司	代理人	卢纪

摘要

本实用新型公开了一种控温的半导体光电特性测试样品架,它由样品腔、控温基座和温度传感器组成。样品腔包含腔盖和腔体,腔盖上设有用以穿插光纤或透过光束的穿孔,腔体上设有多个接线柱。控温基座固定在样品腔中并以一块高热导率的热沉为基体,温度传感器插设在热沉一侧通向中心的孔道内,热沉上表面有一对装有弹性测试电极的接线柱,其下表面则贴附着带加热器的绝缘导热薄片。此测试样品架使用方便、节约器材并能满足控温要求。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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