光波导的制造方法以及由该制造方法所得到的光波导

发明专利无效专利

申请号：
CN200880107301.7
IPC分类号：G02B6/13;G02B6/12
申请日期：
2008-09-18
申请人：
日立化成工业株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	光波导的制造方法以及由该制造方法所得到的光波导
申请号	CN200880107301.7	申请日期	2008-09-18
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2010-08-11	公开/公告号	CN101802667A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B6/13 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B6/00 光导；包含光导和其他光学元件（如耦合器）的装置的结构零部件〔4，6〕 G02B6/10 光波导式的（G02B 6/02，G02B 6/24优先，用电、磁、电磁或电声装置进行光的控制入G02F 1/00；变换受调制光的调制入G02F 2/00；光学逻辑元件入G02F 3/00；光学模拟/数字变换器入G02F 7/00；使用电光元件的存储器入G11C 11/42；电波导管入H01P；通过光学装置传输信息的入H04B 10/00；多路系统入H04J 14/00）〔4，8〕 G02B6/12 集成光路类型（单晶的制备和加工入C30B；集成电路入H01L 27/00）〔4〕 G02B6/13 以制作方法为特征的集成光路〔6〕	IPC分类号	G;0;2;B;6;/;1;3;;;G;0;2;B;6;/;1;2查看分类表>
申请人	日立化成工业株式会社	申请人地址	日本东京都变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日立化成工业株式会社	当前权利人	日立化成工业株式会社
发明人	牧野龙也;山口正利;高桥敦之
代理机构	北京银龙知识产权代理有限公司	代理人	钟晶

摘要

本发明提供一种光波导的制造方法，其具有以下工序：在基材上形成由感光性树脂组合物所形成的感光性树脂层的工序，曝光所希望图案的工序，以及使用含有2价以上金属离子的碱性显影液进行显影的工序；本发明还提供光波导的制造方法，其具有以下工序：在基材上形成由感光性树脂组合物所形成的感光性树脂层的工序，曝光所希望图案的工序，使用碱性显影液进行显影的工序，以及使用含有2价以上金属离子的洗涤液或酸性水溶液进行洗涤的工序。本发明还提供一种透明性和可靠性优异的光波导的制造方法以及通过该制造方法所制造的光波导。

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