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一种具有高硬度与自润滑性的涂层及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510982935.9
  • IPC分类号:C23C14/06;C23C14/32;C23C14/58;C23C14/02
  • 申请日期:
    2015-12-23
  • 申请人:
    中国科学院宁波材料技术与工程研究所
著录项信息
专利名称一种具有高硬度与自润滑性的涂层及其制备方法
申请号CN201510982935.9申请日期2015-12-23
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-06-30公开/公告号CN106906442A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/06IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;0;6;;;C;2;3;C;1;4;/;3;2;;;C;2;3;C;1;4;/;5;8;;;C;2;3;C;1;4;/;0;2查看分类表>
申请人中国科学院宁波材料技术与工程研究所申请人地址
浙江省宁波市镇海区庄市大道519号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院宁波材料技术与工程研究所当前权利人中国科学院宁波材料技术与工程研究所
发明人李金龙;王越;王永欣;王立平
代理机构北京鸿元知识产权代理有限公司代理人单英
摘要
本发明提供了一种具有高硬度与自润滑性的涂层。该涂层将具有高强韧性的非晶纳米晶结构与MAX相层状结构相结合,利用MAX相层状结构具有的良好自润滑性,使涂层不仅具有高硬度,而且具有良好的自润滑性能,能够满足装备关键零部件和工模具等基体的减摩耐磨防护需求。另外,针对由纳米晶TiN、非晶Si3N4以及Ti‑Si‑C三种元素的MAX相层状结构构成的涂层,本发明利用多弧离子镀技术制备该涂层,得到的涂层硬度可达30‑40GPa,摩擦系数可达0.1‑0.2。

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